石英砂在以下領域有特殊要求,涵蓋化學成分、純度、粒度、穩定性及特定性能指標:
1. 半導體與集成電路
核心要求:超高純度(SiO?純度≥99.998%,即4N8以上),雜質含量極低(堿金屬<1ppm,過渡金屬<0.05ppm,放射性元素<0.01ppb)。
關鍵指標:
氣泡與包裹體:近乎“無氣泡”,避免高溫下形成缺陷。
羥基含量:<5ppm,防止高溫下產生氣泡影響粘度。
耐高溫性:需承受1600°C以上高溫,且抗等離子體侵蝕能力強。
應用場景:製造晶圓熔融用石英坩堝、光刻機光掩模基板、工藝腔體內襯等。
2. 光伏行業
核心要求:高純度(SiO?純度≥99.99%),低鐵含量(Fe?O?≤150ppm),高透光率(≥91.5%)。
關鍵指標:
難熔重礦物:鉻鐵礦及含鎳礦物總量≤5ppm,單個顆粒直徑≤0.25mm。
粒度控製:通過水選和分選分級實現均勻粒度分布。
應用場景:製造太陽能矽晶鑄錠用石英陶瓷坩堝、光伏擴散管、氧化管等石英器件。
3. 光纖通信
核心要求:高純度(SiO?純度≥99.99%),極低羥基含量(<0.5ppm,甚至<0.1ppm)。
關鍵指標:
粒度與形狀:顆粒度均勻(50-200μm),球形度好,確保氣相沉積反應均勻。
光衰減性:降低光纖傳輸損耗,提高信號質量。
應用場景:生產光纖預製棒襯管、外包層及光芯片襯底。
4. 電光源行業
核心要求:高純度(SiO?純度≥99.9%),高透光率,耐高溫性。
關鍵指標:
透光率:紫外到紅外波段透光率高。
熱穩定性:能承受從高溫到室溫的急劇溫度變化(如1300°C→室溫循環50次以上)。
應用場景:製造鹵素燈、汞燈、紫外殺菌燈等電光源器件的石英玻璃管。
5. 航空航天與核工業
核心要求:極端環境適應性,如耐高溫(2000°C→室溫循環上千次)、抗輻射(中子注量>10?? n/cm?)。
關鍵指標:
機械性能:高強度、低熱導率。
硼含量:<0.1ppm(硼是強中子吸收劑,影響反應堆效率)。
應用場景:製造火箭整流罩、隔熱材料、核反應堆慢化劑及反射層。
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