高純度石英砂(SiO?純度≥99.99%)因其優異的化學穩定性、耐高溫性、透光性和電絕緣性,被廣泛應用於高端科技和工業領域。以下是其主要用途的詳細分類:
1. 半導體行業
核心用途:作為半導體製造的關鍵材料,用於生產高純度石英器件和部件。
具體應用:
石英坩堝:用於單晶矽和多晶矽的熔煉和拉製,要求純度高(≥99.998%),以避免雜質汙染晶圓。
光掩模基板:作為光刻工藝的模板,需具備高透光率和低熱膨脹係數。
工藝腔體內襯:保護半導體設備免受高溫等離子體侵蝕,延長設備壽命。
擴散管和氧化管:用於晶圓製造中的擴散和氧化工藝,需承受高溫和化學腐蝕。
2. 光伏行業
核心用途:支持太陽能電池和組件的高效生產。
具體應用:
石英陶瓷坩堝:用於多晶矽鑄錠,要求純度≥99.998%,以減少雜質對電池效率的影響。
光伏擴散管和氧化管:在晶圓製造中提供高溫環境,確保工藝穩定性。
石英舟和支架:用於承載晶圓在高溫工藝中的傳輸,需具備高耐熱性和化學穩定性。
3. 光纖通信
核心用途:作為光纖預製棒的主要原料,確保光信號的低損耗傳輸。
具體應用:
光纖預製棒襯管和外包層:要求純度高(≥99.999%),以降低光衰減。
氣相沉積原料:通過化學氣相沉積(CVD)工藝生產光纖預製棒,需控製羥基(OH?)含量(<0.1ppm)以減少光損耗。
光芯片襯底:用於製造高速光通信芯片,需具備高透光率和低熱膨脹係數。
4. 電光源行業
核心用途:生產高性能電光源器件,如鹵素燈、汞燈和紫外殺菌燈。
具體應用:
石英玻璃管:作為燈管材料,需具備高透光率(紫外到紅外波段)和耐高溫性(>1000°C)。
燈殼和反射罩:用於集中和反射光線,提高光源效率。
紫外殺菌燈管:利用石英的高透光性,確保紫外光有效穿透。
5. 航空航天與核工業
核心用途:在極端環境下提供可靠的材料支持。
具體應用:
火箭整流罩:需具備高強度、低熱導率和耐高溫性(>2000°C)。
隔熱材料:用於航天器熱防護係統,減少熱量傳遞。
核反應堆慢化劑和反射層:要求純度極高(硼含量<0.1ppm),以避免吸收中子影響反應堆效率。
中子探測器:利用石英的穩定性,檢測中子輻射。
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